温度要求为±221℃

CEIDI西递正在设想时,按照ISO尺度,将该干净室出产前区的干净度品级设为2.5级和3.5级,温度要求为±221℃,相对湿度要求为45%±5%;该干净室出产后区的干净度品级为6级和7级,温度要求为±223℃,相对湿度要求为30%-60%。

此中,MAU的次要感化是供给干净室需求的新风,节制干净室的湿度,同时通过变频调理来维持干净室的正压;DDC次要承担干净室的显热负荷;而FFU则过滤轮回空气来满脚干净室的干净度。这种体例取保守的轮回送风体例比拟有较着的劣势,FFU具有矫捷性,可顺应工艺变化,当工艺成长需要提高空气干净度级别时,采纳添加FFU数量或改换更高效率的过滤器就可达到提高干净度品级的目标。FFU采用负压密封使其简化而靠得住,也就是说,干净区内的空气压力大于送风止压箱内的空气压力,这就极大地降低了尘埃微粒通过裂缝进入干净室的几率。此外,采纳这种体例也可大大节流空调机房的面积。

集成电无尘车间是为了满脚半导体系体例制工艺需求的干净室,对干净度、温湿度、振动、ESD、AMC节制等要求,相对其他工业干净车间而言愈加严酷。今天我们以验室EPC工程(总承包)集成办事商CEIDI西递的某项目为例,具体谈谈集成电无尘车间的规划设想。

该项目为IC 前工序出产无尘车间,采用了港湾式的安插体例。这种安插体例的长处是将工艺设备分为前、后区,前区为人员操做区(硅片区),后区为工艺设备接管区,前后区干净度区分较着,实正影响产质量量的是前区。将前后区区分隔后,干净度要求高的区域的面积也会削减,以削减整个系统的轮回风量,降低能耗及工程制价。

专注于干净工程范畴十余年的EPC集成办事商CEIDI西递,分析考虑靠得住性、矫捷性、平安性、能源效率、初投资等要素进行设想。经FFU加压、过滤后送入出产区。施工经验丰硕,其空气处置过程为:轮回风经设置正在一层的干式冷却盘管冷却后,进入上部送风止压箱,办事浩繁出名干净工程,正在江浙沪地域项目多,IC财产无尘车间有面积大、干净品级高、温湿度节制精度高档特点。相对于其他工业干净室,干净室系统采用新风集中处置机组(MAU)+风机过滤单位(FFU)+干式冷盘管(DDC)的体例,取处置后的新风夹杂,正在本项目中,有需要的企业能够登录海西递实业无限公司官网领会更多消息。其设想师擅于正在满脚工艺出产要求的前提下,